等离子光氧净化器在放电过程中产生重粒子温度很低，整个离子体系呈现低温状态的等离子体，它能轻易使有毒、有异味废气转变化为低分子化合物，故称为低温等离子废气净化器。它在实际应用中，可单独使用，亦可以根据情况与喷淋塔等设备组合使用，或与UV光解箱二合为一，成为等离子光解一体机，集合了等离子和光解的优点。
低温等离子体分解油雾、废气等污染时，等离子体中的 离子起着决定性作用。流星雨状的 等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被解脱。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器附场的作用下被收集。
在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度以及共存的介质成分。
在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子 物质，或使物质转变成 或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解清理。
等离子光氧净化器性能特点：
1、处理速度比光催化，除恶臭，净化率达92以上；
2、运行费用低，无需添加任何物质，无需再另用净化层；
3、工艺成熟 ；
4、适用面广，能同时处理多种混合废气；
5、不结垢，不堵塞，不易发生故障，维护方便，使用寿命长。
