本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有 效作用于被处理空间(区域)，由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，大的提高等离子体区，板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有气体的无管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，诸多机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无灯作为低温等离子体的激发体大限 度地在无管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能 量跃迁过程中具有强的能 量平衡性，在粒子撞击中失能少，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，大的科题在于低气压究竟是多少帕?管内充什么样的气体有经济价值?这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下:
(1) 电场+电子→电子
(2) 电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
